國內(nèi)外潔凈技術(shù)的發(fā)展都是隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展特別是軍事工業(yè)、航天、電子和生物藥等工業(yè)的發(fā)展而不斷發(fā)展的?，F(xiàn)代工業(yè)產(chǎn)品和現(xiàn)代化科學(xué)實(shí)驗(yàn)活動(dòng)要求微型化、精密化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性。

要生產(chǎn)這些產(chǎn)品，就必須達(dá)到相應(yīng)的受控生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級(jí)。對(duì)于現(xiàn)今以“微型電腦”為手段的電子信息時(shí)代，產(chǎn)品的高質(zhì)量、高可靠性的重要意義是不言而喻的。基于這種趨勢(shì)，潔凈技術(shù)的發(fā)展已成為現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)實(shí)驗(yàn)活動(dòng)*的重要標(biāo)志之一。

潔凈室設(shè)計(jì)（包括潔凈空調(diào)設(shè)計(jì)）是潔凈技術(shù)的重要組成部分。潔凈廠房?jī)?nèi)的壓力，溫度，濕度，空氣流速以及空氣潔凈度等因素控制的好壞直接影響到生產(chǎn)質(zhì)量是否達(dá)標(biāo)。 

一、潔凈室污染控制技術(shù)方案

空氣凈化的主要任務(wù)是根據(jù)各種產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、不同工序、各類房間的空氣潔凈度等級(jí)需要，采取空氣過濾技術(shù)措施將潔凈室內(nèi)空氣中懸浮的粒狀或化學(xué)分子污染物質(zhì)降低到允許的濃度下。

潔凈室內(nèi)的污染源主要來自四個(gè)方面：

1、大氣中含塵、含菌、凈化空調(diào)系統(tǒng)中新風(fēng)帶入的塵粒和微生物；

2、作業(yè)人員發(fā)塵；

3、建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)、設(shè)施的產(chǎn)塵，這里包括墻、頂棚、地面和一些裸露管線的產(chǎn)塵；

4、設(shè)備及產(chǎn)品生產(chǎn)過程的產(chǎn)塵。

為保證產(chǎn)品環(huán)境或其他用途的潔凈室所要求的空氣潔凈度，要采取多種綜合技術(shù)措施才能達(dá)到要求。這些綜合措施包括：應(yīng)采用產(chǎn)生污染物少的生產(chǎn)工藝及設(shè)備，或采取必要的隔離和負(fù)壓措施防止生產(chǎn)工藝產(chǎn)生的污染物質(zhì)向周圍擴(kuò)散，采用產(chǎn)塵少、不易滋生微生物的室內(nèi)裝修材料及器具；減少人員及物料帶入室內(nèi)的污染物質(zhì)；維持生產(chǎn)環(huán)境相對(duì)于室外或空氣潔凈度等級(jí)要求高的環(huán)境有一定的正壓，防止室外或鄰室的空氣攜帶污染物質(zhì)通過門窗過其他縫隙、孔洞侵入；加強(qiáng)潔凈室的管理，按規(guī)定進(jìn)行清掃、滅菌等。

除采取上述種種技術(shù)措施之外，為使生產(chǎn)環(huán)境或其他用途的潔凈室室內(nèi)環(huán)境控制在所要求的空氣潔凈度等級(jí)，重要的技術(shù)措施是需要送入足夠量的經(jīng)過處理的清潔空氣，以替換或稀釋室內(nèi)在正常工作時(shí)所產(chǎn)生的污染空氣。潔凈室的空氣凈化處理就是根據(jù)房間不同的潔凈度等級(jí)要求，采取不同方式送入經(jīng)過處理的數(shù)量不等的清潔空氣，同時(shí)排走相應(yīng)數(shù)量的攜帶有污染物質(zhì)玷污的空氣，靠這樣的動(dòng)態(tài)平衡，使室內(nèi)環(huán)境維持在所需的空氣潔凈度等級(jí)。

目前潔凈室對(duì)送入空氣的潔凈方法，重要和使用廣泛的方式是空氣過濾法。送入潔凈室的清潔空氣，主要是靠送風(fēng)系統(tǒng)的各個(gè)部位設(shè)置不同性能的空氣過濾器，用以除去空氣中的懸浮粒子和微生物。

下面將對(duì)潔凈室污染控制領(lǐng)域中比較新穎的技術(shù)方案進(jìn)行介紹：

（1）用傳統(tǒng)的噴水室濕式處理空氣法來處理新風(fēng)中的化學(xué)物質(zhì)。近幾年來許多 開展了很多研究證明了其有效性。

（2）采用有殺菌作用的HEPA過濾器(殺菌酵素過濾囂)。過去采用金屬離子的毒性來殺菌，如銀型陽高于交換纖維制成的空氣過濾器，現(xiàn)今可采用從生物體中提取的天然酵素將細(xì)菌的細(xì)胞壁溶解以達(dá)到殺菌的目的，是一種安全的滅菌措施，它防止了過濾器上微生物增殖所產(chǎn)生的二次污染。

（3）采用UV光電子空氣凈化方法。這種方法不同于普通的靜電過濾器。該方法利用將紫外線照射在金屬膜層上產(chǎn)生的光電效應(yīng)，在空氣中產(chǎn)生電子和負(fù)離子使流經(jīng)的污染物質(zhì)荷電并被集塵極捕集(圖1所示)。目前在有限的小空間范圍內(nèi)已有應(yīng)用。

（4）采用除海鹽粒子過濾器。沿海岸地區(qū)空氣中含鹽量較多，臺(tái)風(fēng)等強(qiáng)風(fēng)作用下會(huì)更高。

這種狀況對(duì)微電子工廠極為不利?，F(xiàn)在有兩種措施：

1)所采用的濾材即使在 鹽分附著后不容易析出；

2)在空調(diào)箱進(jìn)入段處先設(shè)噴水段及檔水板，可先捕集90％的海鹽粒子，再經(jīng)普通的空氣過濾器清除未被捕集的粒子。噴霧用水應(yīng)直接排放出，不予回收。對(duì)于臨海設(shè)置的微電子工廠在空調(diào)凈化裝置中應(yīng)予考慮。

（5）采用智能型空氣離子凈化系統(tǒng)。近幾年來歐洲開發(fā)了一種智能化凈化系統(tǒng)，它利用離子發(fā)生工作單元的高壓電離原理，釋放出穩(wěn)定的正負(fù)電氧離子族，帶電氧離子與VOC物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)，以達(dá)到去除臭味凈化空氣的目的。

為保證室內(nèi)空氣質(zhì)量處于理想狀態(tài)，該系統(tǒng)還配有智能化控制系統(tǒng)，通過送風(fēng)管上的風(fēng)速、濕度和傳感器及回風(fēng)管和新風(fēng)管中的空氣品質(zhì)傳感器并將檢測(cè)數(shù)據(jù)傳到電離控制器，以控制離子發(fā)生單元的工作強(qiáng)度，自動(dòng)控制室內(nèi)的空氣品質(zhì)，同時(shí)這些數(shù)據(jù)通過傳送器和網(wǎng)絡(luò)，可以進(jìn)行遠(yuǎn)程監(jiān)控。

（6）采用新型空氣吹淋室。傳統(tǒng)的吹淋室對(duì)人體吹淋停止后，小室內(nèi)的含塵空氣有可能被帶入車間，新改進(jìn)的吹琳室，具有快速自凈的功能，當(dāng)停止吹淋氣流后，可部分轉(zhuǎn)換成頂部垂直氣流，這樣可使小室內(nèi)空氣含塵量很快降低，達(dá)到自凈效果。

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